在半导体制造过程中，光刻、刻蚀、沉积、离子注入等核心制程都需要在高真空环境下进行，半导体真空设备作为营造高真空环境的核心装备，直接影响制程稳定性、芯片性能与良率，是半导体制造的关键设备。2026年，全球半导体先进制程持续迭代，极紫外光刻（EUV）等高端工艺对真空环境的要求愈发严苛，推动制程真空系统向高真空度、高稳定性、低能耗、智能化方向快速升级。在此产业背景下，2026半导体真空设备展作为中国国际半导体博览会（IC China 2026）的重要组成部分，将于11月在北京国家会议中心举办，全面覆盖制程真空系统全品类产品与技术，汇聚全球行业力量，搭建的技术交流与供需对接平台，助力我国半导体真空设备产业实现自主可控与高质量发展。
当前，半导体真空设备产业呈现“真空度提升、系统集成化、节能化、智能化”的发展趋势。从真空度要求来看，先进制程对真空度的要求已达到10-9Pa级别，需有效控制环境中的气体分子与杂质，避免影响芯片制程质量；系统集成化趋势明显，真空获得设备、真空测量仪器、真空阀门、真空管道等组件集成一体，形成完整的制程真空系统，提升系统稳定性与运维效率；节能化升级成为重点，通过优化设备结构、采用高效电机、回收余热等技术，降低真空设备能耗，契合“双碳”目标要求；智能化升级实现真空度实时监控、自动调节、故障预警、远程运维等功能，提升系统运行稳定性与便捷性。
当前，半导体真空设备产业呈现“真空度提升、系统集成化、节能化、智能化”的发展趋势。从真空度要求来看，先进制程对真空度的要求已达到10-9Pa级别，需有效控制环境中的气体分子与杂质，避免影响芯片制程质量；系统集成化趋势明显，真空获得设备、真空测量仪器、真空阀门、真空管道等组件集成一体，形成完整的制程真空系统，提升系统稳定性与运维效率；节能化升级成为重点，通过优化设备结构、采用高效电机、回收余热等技术，降低真空设备能耗，契合“双碳”目标要求；智能化升级实现真空度实时监控、自动调节、故障预警、远程运维等功能，提升系统运行稳定性与便捷性。稳定性与便捷性。
我国半导体真空设备产业已形成一定规模，在中低端真空设备领域（如低真空获得设备、常规真空阀门）实现规模化生产，本土企业凭借高性价比、快速响应能力，逐步占据国内中低端市场份额。但在高端领域，如高真空分子泵、低温泵、EUV光刻专用真空系统、高精度真空测量仪器等，仍与国际巨头存在差距，核心技术、关键零部件（如真空密封件、高精度真空泵芯）仍有进口依赖。随着国内先进制程产能持续扩张、半导体设备国产化进程加快，对高端真空设备的需求持续旺盛，为本土真空设备企业提供了巨大的市场机遇与升级空间。据行业数据显示，2026年国内半导体真空设备市场规模将突破60亿元，国产化率有望提升至30%以上。
IC China 2026依托二十三年的行业积淀与全产业链资源优势，特设半导体真空设备专区，全面覆盖制程真空系统全产业链产品与技术，汇聚国内外主流真空设备厂商、零部件供应商、晶圆制造企业、设备集成商与科研机构，展品涵盖真空获得设备（旋片泵、油扩散泵、低温泵、分子泵等）、真空测量仪器、真空阀门、真空管道、真空密封件、真空应用设备等全品类，其中不乏适配EUV光刻工艺的高端真空系统、低能耗分子泵等创新产品，可满足先进制程对高真空环境的严苛要求。
展会同期举办“国际真空技术发展高峰论坛”，邀请中国工程院院士、真空学会理事长等专家，以及行业龙头企业代表，深入探讨真空技术在半导体制造中的应用、高端真空设备研发趋势、节能化真空系统设计等热点话题，为行业发展提供指导与思路。此外，展会还设置供需对接与技术交流环节，精准对接真空设备厂商与头部晶圆厂、半导体设备集成商，助力本土真空设备企业加速产品验证与批量供货，推动真空设备国产化进程。
对半导体真空设备企业而言，本届展会是展示技术实力、对接下游客户、拓展市场渠道、提升品牌影响力的黄金窗口。参展企业可直面中芯国际、华虹、北方华创等头部晶圆厂与设备集成商，深入了解先进制程对真空设备的新需求，加速产品研发与优化，突破高端技术瓶颈；与零部件供应商、科研机构深度合作，优化产品供应链，提升产品性能与稳定性；借助展会平台，展示自主研发的高端真空设备，打破国际巨头垄断，提升本土品牌度与行业影响力。
对晶圆制造与设备集成企业而言，本届展会提供了一站式真空设备与系统选型平台。可近距离对比国内外真空设备的性能与性价比，优选符合自身制程需求的真空系统，降低采购成本与供应链风险；与真空设备厂商直接对接，定制专属真空系统方案，提升制程稳定性与芯片良率；了解真空技术新发展趋势，提前布局先进真空工艺，助力自身制程与设备向高端升级。
2026年，我国半导体产业进入先进制程突破与设备国产化攻坚的关键阶段，真空设备作为核心制造装备，其国产化水平直接影响半导体产业的自主可控能力。2026半导体真空设备展（IC China 2026）以“全覆盖制程真空系统、赋能半导体先进制造”为主题，搭建高效交流合作平台，助力本土真空设备企业突破高端壁垒、拓展市场空间，推动我国半导体真空设备产业实现高质量发展。11月北京，行业齐聚，共探真空技术创新之路，共筑半导体制造核心装备防线。
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